
AI加速度,PD大放量。
每一颗PD从晶圆走向光模块前,都必须闯过IV/CV电学测试这一关。面对高速PD日趋严苛的暗电流、结电容、击穿电压要求,传统测试方案在精度与效率上的短板被持续放大——测不准、测不快、测不全,已成为制约产线产能的重要因素。
VMP6000 晶圆级半导体参数测试系统,正是面向PD的IV/CV电学测试而设计。该测试系统已实现标准化量产,在多家头部厂商已完成批量部署与验证,性能稳定,交付即用。
01
自研切换模块/
支持IV和CV的自动切换测试
VMP6000搭载柯泰光芯自主研发的IV/CV切换模块,探针接触一次即可完成PD的IV和CV测试,无需多次扎针,大幅提升测试效率,避免被测件针痕过大。
02
多 site 高精度 IV测试/
并行不降精度
支持多 site 并行 IV 测试,直流/脉冲双驱动,配合低漏电卡盘与三同轴屏蔽探接,确保多site并行测量中数据的准确性与一致性,PD暗电流/正向电压等测试稳定可信。
03
多site CV测试/
宽频覆盖,结电容一测即得
CV 测试可覆盖 20Hz~5GHz 宽频段,且柯泰光芯与仪器厂商共同研发了CV多 site 并行测试技术,攻克了数字电桥并行测试的串扰问题,大幅提升CV测试UPH。
04
一台多用/
覆盖PD、VCSEL、HBT等多类器件
除PD之外,VMP6000 单台亦兼容 VCSEL(含 2D VCSEL)、HBT 等多类器件。柯泰光芯的测试软件提供极其灵活的配置界面,支持多site、通道切换、subdie等各种类型的并行与串行测试。研发导入新器件无需更换平台,量产阶段可一机覆盖多产品线 CP 测试,为光电半导体企业提供高灵活、高通用的一体化测试底座。
测不准、测不快、测不全——VMP6000给这三个问题,提供了一个经过产线验证的答案。
该测试系统已实现标准化量产,如需了解更多产品信息,欢迎联系我们:
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